ПОДРОБНАЯ ИНФОРМАЦИЯ
Заявку на получение дополнительной информации по этому проекту можно заполнить здесь.
|
Номер 84-004-06 |
|
Наименование проекта Автоматизированная система контроля толщины покрытий, наносимых в вакууме, с помощью емкостного датчика |
|
Назначение Контроль толщины покрытий, наносимых в вакууме, в реальном времени |
|
Рекомендуемая область применения При производстве микросхем в электронной промышленности |
|
Описание
Автоматизированная система состоит из емкостного датчика толщины, располагаемого в вакуумной камере, устройства сопряжения датчика с прибором измерителем емкости АМ-3003, ПК и заслонки, которая управляет потоком испаряемого вещества (рис. 1). Для ПК написана специализированная программа для обработки данных и управлением устройством сопряжения. Главное окно можно видеть на рисунке 2.
Рис. 2 - Окно хода процесса контроля толщины покрытий с помощью емкостного датчика
Рис. 3 – Модель емкостного датчика толщины покрытия 1 –верхняя обкладка конденсатора в виде сетки или перфорации; 2 – нижняя обкладка измерительного конденсатора, выполненная сплошной; 3 – нанесенный материал; 4 – экран; 5 – нижняя обкладка компенсационного конденсатора, выполненная сплошной Принцип действия: на емкостной датчик (рис.3) наносится покрытие, в результате чего изменяется емкость датчика. С помощью устройства сопряжения сигнал подается на измеритель емкости и преобразуется с цифровой код. Этот код анализируется с помощью ПК и по достижению заданной толщины покрытия вырабатывается сигнал на закрытие заслонки в вакуумной камере. |
|
Преимущества перед известными аналогами Контроль покрытий как диэлектрических, так и металлических;большой диапазон контролируемой толщины; контроль в реальном времени;простота реализации как датчика, так и системы в целом. |
|
Стадия освоения Внедрено в производство |
|
Результаты испытаний Технология обеспечивает получение стабильных результатов |
|
Технико-экономический эффект Улучшение качества покрытий на 50 % путем точного определения их толщины. Уменьшение расходных материалов покрытия на 20 %. |
|
Возможность передачи за рубеж Возможна передача за рубеж |
|
Дата поступления материала 08.09.2006 |
Инновации и люди
У павильонов Уральской выставки «ИННОВАЦИИ 2010» (г. Екатеринбург, 2010 г.)
Мероприятия на выставке "Инновации и инвестиции - 2008" (Югра, 2008 г.)
Открытие выставки "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)
Демонстрация разработок на выставке "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)
2007–2024 © Инновации - Бизнесу. Инновации и инвестиции в прорывные технологии