ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

Номер

29-022-06

Наименование проекта

Установка для получения монокристаллов полупроводниковых материалов

Назначение

Повышение качества монокристаллов в едином технологическом цикле и воспроизведения заданной кристаллографической ориентации

Рекомендуемая область применения

Радиоэлектроника при сборке аппаратуры на полупроводниках

Описание

             Результат выполнения  конструкторско-технологической разработки.

            Установка включает в себя нижнюю плавильную камеру, верхнюю камеру 1 для вытягивания, устройство  2 для отсоединения  выращенного монокристалла. Выращенного монокристалла 4 с верхним и нижним захватами, привод 5 этого устройства,  устройство 6 для хранения подпиточных стержней.

             При работе расплавляют  первоначальную загрузку в тигле, затравкой 7 производят затравливание монокристалла, вытягивают  монокристалл, вытягивая не более 2/3 расплава, содержащегося в тигле. Не открывая камеры приводом 5, перемещают  верхний и нижний рычаги устройства 3, фиксируют в нем монокристалл 4, устройством 2 отделяют выращенный  монокристалл 4 от затравки 8 и перемещают его в сторону от оси выращивания. Затем доплавляют  расплав подпиточными стержнями 7, перемещая их к центру и опуская в тигель  с помощью устройства 6, после доплавления расплава до исходного уровня подпиточные стержни поднимают и отводят в сторону. Той же затравкой 8 производят затравливание следующего монокристалла. Количество выращенных  монокристаллов может быть на один больше, чем устройств для  хранения, так как последний монокристалл может оставаться на затравке, при его выращивании вытягивается весь  расплав из тигля.

Рис. Установка для получения монокристаллов полупроводниковых материалов

Преимущества перед известными аналогами

Использование описанной установки позволяет экономить эл/энергию, тигли, применить одну и ту же затравку; устраняются факторы, приводящие к сбою бездислакационного роста кристалла

Стадия освоения

Внедрено в производство

Результаты испытаний

Технология обеспечивает получение стабильных результатов

Технико-экономический эффект

Экономия эл/энергии в 2, 5 раза

Возможность передачи за рубеж

Возможна передача за рубеж

Дата поступления материала

03.07.2006