ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

Номер

19-014-06

Наименование проекта

Установка для электропереноса в полупроводниковых кристаллах

Назначение

Проведение промышленных технологических процессов в вакууме и в разряженных средах

Рекомендуемая область применения

Вакуумная техника

Описание

Результат выполнения научно-исследовательской работы.

Исследование ионной проводимости в кристаллах привело к теоретическому предсказанию новых явлений –электрокинетических и электромеханических.

Для изучения влияния приложенного электрического поля и протекающего тока на  электро- и массоперенос примесей в металлических и полупроводниковых кристаллах на основе вакуумной распределительной камеры, разработана, изготовлена и внедрена установка, состоящая из кварцевой камеры 1, основания 2 из нержавеющей стали с переходным фланцем, крышки камеры 3, двух прокладок 4 из силиконовой резины, двух токовводов 5 с водяным охлаждением, изолирующих шайб 6, опорной плиты 7 для крепления образца, исследуемого образца 8, термопарных и зондовых вводов 9 и переходного фланца 10.

Опорные плиты, служащие для подвода тока и крепления образца, выполнены из молибдена.

Образец для изучения электромассопереноса под действием электрического поля устанавливается между двумя дисками из пиролитического графита. Для обеспечения электрического контакта с образцом их наполняют мелким графитовым порошком.

Температуру, при которой исследуются физические процессы, получают омическим нагревом образца путем пропускания постоянного тока через него.

Схема 1. Установка для электропереноса в полупроводниковых кристаллах.

Для измерения температуры применяют термопары и оптический пирометр. Постоянное электрическое поле и ток, служащий для нагрева образца, снимают с одного источника постоянного напряжения, с помощью которого производится регулирование плотности тока, напряженности поля и температуры исследуемого образца. Эти величины варьировались в пределах 80 а/мм² и температуре 900-1300°С соответственно. Установка позволяет регулировать ток независимо от температуры опыта за счет изменения толщины выравнивающих дисков, а также регулирования скорости протекания хладоагента через систему. Образцы с большими удельными сопротивлениями облучаются лампами мощностью 1000 вт.

Установка обеспечивает однородный нагрев исследуемого объекта, который может иметь круглое или квадратное сечение, дает возможность определить профиль распределения примесей позволяет проводить эксперименты практически непрерывно.  Отличительной особенностью установки является простота конструкции и универсальность.

Работа выполняется как при среднем и глубоком вакууме, так и в атмосфере инертного газа.

Преимущества перед известными аналогами

Беспрерывное использование установки

Стадия освоения

Внедрено в производство

Результаты испытаний

Технология обеспечивает получение стабильных результатов

Технико-экономический эффект

Экономический эффект по сравнению с аналогом более 60%

Возможность передачи за рубеж

Возможна передача за рубеж

Дата поступления материала

17.11.2006