ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

Номер

19-022-06

Наименование проекта

Камера для электропереносной пластической деформации полупроводниковых кристаллов

Назначение

Управляемое конструирование структур

Рекомендуемая область применения

Вакуумная техника, материаловедение

Описание

Результат выполнения научно-исследовательской работы.

Наиболее перспективным при получении нанокристаллических состояний кристалла является метод интенсивной пластической деформации. При изучении закономерностей взаимосвязи между структурой,  составом и свойствами в кристаллических структурах важно их получить в динамическом процессе и в термодинамически неравновесных условиях. Для реализации этих идей предложен новый  электропереносно-пластический способ деформации кристаллов, реализуемый в предлагаемой деформационной металлической камере.

На рис.1 представлена металлическая камера, являющаяся основным элементом деформационной установки.

Камера состоит из двух частей – нижней (1) и верхней (2), на основании нижней камеры расположены трехосесимметричная основная ячейка деформации (3), силовые токовводы (4-5), многоштырьковый вакуумный разъем, расположенный на противоположной невидимой части камеры для коммутации электронной системы.

Основная ячейка деформации состоит из трех металлических дисков (6,7,8), нижний (6) и верхний (8) диски являются формообразующими и неподвижными, а средний диск (7) с тремя впрессованными в него втулками (9)перемешается вдоль направляющих трех стоек (10). На нижней плите (6) размешены титановые чашки – нижняя (11 ) и верхняя (12 ), которые дополняют основную ячейку деформации. Верхняя чашка (12) плавно входит в нижнюю, и одновременно являются дополнительным направляющим плоско-параллельного перемещения устройства, придающая усилие на деформируемый образец. Деформационная ячейка тепло- и электрически изолированы  от токовводов и направляющей системы кварцевыми пластинами (13 ), привинченными  к титановым чашкам потайными  винтами.

Усилие на образец подается на среднюю плиту через шарик (14) штоком (15) от нагрузки, приложенной к крыше (17) сильфона (16).

Внутренний объем ячейки служит для размещения  экранов-отражателей (18), а  на основании чашки имеются канавки для размещения съемного нагревательного элемента (19) и источников излучения электромагнитных волн различных частот (20). Камера прошла испытание в лабораторных условиях.

Рис. 1. Камера для электропереносной пластической деформации полупроводниковых кристаллов.

Преимущества перед известными аналогами

Регулируемое структурообразование в кристаллах

Стадия освоения

Внедрено в производство

Результаты испытаний

Технология обеспечивает получение стабильных результатов

Технико-экономический эффект

Экономический эффект по сравнению с аналогом более 60%

Возможность передачи за рубеж

Возможна передача за рубеж

Дата поступления материала

17.11.2006