ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

Номер

19-018-06

Наименование проекта

Камера пластической деформации

Назначение

Управляемое конструирование структур

Рекомендуемая область применения

Вакуумная техника, материаловедение

Описание

Результат выполнения научно-исследовательской работы.

Существуют различные способы обработки структур полупроводниковых кристаллов для введения регулируемых дефектов. Наибольшее распространение получил способ термопластического деформирования (ТПД). Разработанная и изготовленная для реализации ТПД-способа камера приведена на рис.1.

Камера состоит из корпуса 1, крышки  2 и 3 камеры и сильфона 4, штока 5, пуансонов 6 из кварцевого прутка, пресс-формы 7 из керамики, испытуемого образца 8, теплоотражательного зеркального экрана 9 из кварца с напыленным зеркальным слоем из кобальта,  фланца 10 для ввода проводов электропитания и потенциальных зондов, и фланца 11 для подсоединения к вакуумному откачному посту. Ячейка  деформирования состоящая из 6,7,8 позиций, собрана на центрирующей пластине 12 с электро-теплоизоляционной подкладкой. Конструкция ячейки деформирования позволяет осуществить два вида деформации: одноосное сжатие и 3-х или 4-х точечный изгиб в различных средах: в вакууме и атмосфере инертного газа. Заданная температура в камере поддерживается с помощью блока регулятора  температуры. Камера малогабаритна и удобна простой конструкции в практике научно-исследовательских работ.

Рис. 1. Камера для пластической деформации полупроводниковых кристаллов.

1-печка, 2-электровводы, 3-корпус, 4-крышка, 5-шток, 6-плита нажимания, 7-гайка накидная. 8-ниппель, 9-фланец, 10-шайба центрирующая, 11-матрица, 12-пуансон,13-подкладка теплоизоляционная, 14-экран-отражатель, 15,16-прокладки, 17-болт, 18-винт, 19,20-сильфоны.

Преимущества перед известными аналогами

Беспрерывное использование установки регулирования структурообразования в кристаллах

Стадия освоения

Внедрено в производство

Результаты испытаний

Технология обеспечивает получение стабильных результатов

Технико-экономический эффект

Экономический эффект по сравнению с аналогом более 60%

Возможность передачи за рубеж

Возможна передача за рубеж

Дата поступления материала

17.11.2006