ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

Результат выполнения научно-исследовательской разработки.

Предлагаемый способ резки пластиндисками с внешней режущей кромкой можетбыть реализован следующим образом.

На шпинделе 1(см. рисунок) станка установленаоправка 2, в которой закреплен отрезной диск 3. Слой ТСМ 4 предварительно нанесен напластину 5, закрепленную на столе 6 станка.

Схема реализации способа резки

Разрезание проводили на станке марки 04ПП100М бескорпусным алмазнымотрезным кругом 56x40x0,045 БрАСН 10/7 (НТ20) -100, закрепленным в оправке свеличиной вылетаl _kp= 2 мм. В качествезаготовки использовали кремниевую пластинумарки ЭКЭС диаметром 76 мм и толщинойlп ⁼0,5 мм. Перед разрезанием на пластину 5предварительно нанесли слой ТСМмарки Л326/1толщиной не более(l_кр2/3l_п=2-2/3·(0,6)=1,6 мм).

Разрезание пластины 5 со слоем ТСМ 4 проводили при окружной скорости кругаvк=105 м/с и скорости подачиvs=100 мм/минв продольном направлении на глубину неменее 2/3l _n(0,4 мм). при этом сначалапрорезался слой ТСМ 4 и соответственно на режущую кромку наносилась твердая смазка,котораягарантированно попадала в зону обработки.

После каждого продольного разрезанияпластины 5 диск 3 перемещали в поперечномнаправлении на шаг, равный ширинекристалла, до получения рисок по всейплощади заготовки. Затем стол 6 станкаповорачивали на 90° с фиксацией положенияи разрезали пластину 5 в поперечномнаправлении со смещением диска 3 послекаждого поперечного реза в продольномнаправлении на шаг, равный длинекристалла, до образования сетки рисок повсей площади пластины 5.

Сравнительная таблица параметров, характеризующих качество реза

Увеличение толщины наносимого слоя ТСМ до 2 мм привело к незначительному уменьшению среднего размера сколов (на 1,7%) и ширины дефектной зоны (на 0,8%) при неизменной величине ширины пропила, тогда как расход твердой смазки вырос на 25% (см. таблицу).