ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

Результат выполнения НИР

Проведена серия НИОКР и разработана микроэлектронная технология изготовления резистивных чувствительных элементов (РЧЭ) на основе тонких пленок диоксида олова и кремниевых МДП-диодов. Детально исследована система диоксида олова и показано, что технологические условия изготовления, структура пленок, а также тип и концентрация легирующих добавок определяют селективную чувствительность тонких пленокSnO2к различным газовым средам.

Проведены испытания стабильности параметров полупроводниковых сенсоров в течение длительной (до одного года) эксплуатации в рабочих режимах при периодическом измерении отклика на воздействие угарного газа (моноокиси углерода), водорода, метана.

Разработаны несколько конструкций корпусов сенсоров различного назначения (в том числе во взрывобезопасном исполнении), проведены их испытания.

Разработана технологическая линейка по выпуску малогабаритных тонкопленочных полупроводниковых газовых сенсоров на более чем 10 газов.

Разработаныэлектронные схемы обработки сигнала и лабораторные макеты сигнализатора НКПР метана, а также измерителя концентрации в атмосфере одновременно трёх газов: моноокиси углерода, водорода и метана. Изготовленные макеты приборов прошли успешные полевые испытания у горноспасателей в Кемеровской области.

К концу 2004 года будет подготовлена конструкторско-технологическая документация на сенсоры и блок детекторный газовый, проведена сертификация продукции.

Разработан портативный сигнализатор горючих газов, предназначенный для определения пороговых концентраций метана и подачи предупреждающих сигналов о превышении концентрации газа соответствующих пороговых значений. Применяется для контроля концентрации метана в рудничной атмосфере. Конструктивно прибор выполнен в виде переносного устройства, питаемого от встроенной батареи аккумуляторов. Время непрерывной работы в зависимости от типа аккумулятора - от 1 до 10 часов. В приборе предусмотрены три пороговых значения подачи предупреждающего сигнала. Пороговые значения могут быть изменены в пределах от 0,05 до 5 об.%.

Имеющиеся на отечественном рынке сигнализаторы и анализаторы газов основаны на применении термокаталитических и электрохимических сенсоров, отличающихся более высокой себестоимостью, малым сроком эксплуатации и низкой надёжностью.

По сравнению, как с зарубежными, так и российскими аналогами, предлагаемая продукция имеет преимущество по соотношению цена - качество