ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

Данный материал является результатом научно-технической разработки авторов.

Существуют различные способы изготовления контактных столбиков на полупроводниковом кристалле. Основными недостатками существующих способов являются: использование сложного оборудования; трудоёмкость технологического процесса; невозможность получать контактные столбики одинаковой формы и объёма.

Разработанный способ изготовления контактных столбиков на полупроводниковом кристалле заключается в том, что отрезки проволоки из припоя, каждый размером равный объёму контактного столбика, совмещают с контактными площадками кристалла через конические отверстия в пластине, вплотную прижатой к кристаллу, при этом угол конуса в отверстии равен краевому углу смачивания припоем металла контактной площадки, после этого кристалл нагревают до температуры расплавления припоя.

Способ изготовления контактных столбиков на полупроводниковом кристалле реализуется следующим образом.

На столик 1 размещают кристалл 2 с контактными площадками 3 (рис. 1, а). К кристаллу вплотную прижимают пластину 4, конические отверстия 5 в которой совмещают с контактными площадками 3. Затем отрезки проволоки припоя 6, каждый размером равный объёму контактного столбика, размещают в конических отверстиях 5 пластины 4 на контактных площадках 3 кристалла 2. После этого осуществляют нагрев столика 1 до температуры расплавления припоя 6. Затем столик охлаждают и припой при кристаллизации образует контактные столбики 7 заданной формы (рис. 1, б).

Использование отрезков проволоки из припоя с размерами, равными объёму контактного столбика, позволяет формировать контактные столбики одинаковой формы.

Конические отверстия в пластине с углом конуса в отверстии , равным краевому углу смачивания припоем металла контактной площадки способствует центровке контактного столбика относительно контактной площадки, а также свободному отделению пластины 4 от кристалла с напаянными контактными столбиками 7 после охлаждения.

Рис. 1

Схема изготовления контактных столбиков

на полупроводником кристалле

а б