Инновации бизнесу. Программно-аппаратный комплекс для измерения электрической проводимости и поверхностных фаз в условиях низких температур

ПОДРОБНАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Заявку на получение дополнительной информации по этому проекту можно заполнить здесь.

Номер

17-045-03

Наименование проекта

Программно-аппаратный комплекс для измерения электрической проводимости и поверхностных фаз в условиях низких температур

Назначение

Исследование структурных и электрических свойств поверхностных фаз на кремнии в условиях сверхвысокого вакуума в области температур от комнатной до температуры жидкого азота.

Рекомендуемая область применения

Физика поверхности полупроводников.

Описание

Результат выполнения научно-исследовательской работы.

Комплекс представляет собой сверхвысоковакуумный модуль, состоящий из резервуара с гермовводами для подачи жидкого азота, оснащённый держателем кремниевой пластины (20х5х0,05 мм ³) на медном грибке, позволяющем перемещать образец в четырёх координатахX, Y, Zи с точностью до 0,01 мм. Модуль размещён в сверхвысоковакуумной камере, оснащённой дифракцией медленных электронов и четырёхзондовой головкой для электрофизических измерений. Управление измерительной системой, включающей измерения электрической проводимости и температуры кремниевых подложек, размещено на персональном компьютере. Область температур, в которой проводятся измерения от 93 до 300 К.

Преимущества перед известными аналогами

Аналоги не известны.

Стадия освоения

Опробовано в условиях опытной эксплуатации

Результаты испытаний

Технология обеспечивает получение стабильных результатов

Технико-экономический эффект

Точность определения до 95%.

Возможность передачи за рубеж

Возможна передача за рубеж

Дата поступления материала

22.10.2003