ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

ПОДРОБНАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Заявку на получение дополнительной информации по этому проекту можно заполнить здесь.

Номер

79-100-03

Наименование проекта

Травление пиролитического хрома

Назначение

Для избирательного и неизбирательного травления в производстве резисторов с проводящим слоем из пиролитического хрома, в производстве низкоомных резисторов с проводящим слоем из пиролитического хрома

Рекомендуемая область применения

Радиотехническая и приборостроительная промышленность

Описание

Данный материал является результатом научно-исследовательской работы ВГТУ.

Сущность способа заключается в том, что травление пиролитического хрома осуществляется раствором, содержащим церий хлорнокислый четырехвалентный, хлорную кислоту, сернокислый трехвалентный кобальт.

Основная роль в растворе травления принадлежит хлорнокислому церию (IV), имеющему высокий окислительно-восстановительный потенциал (+1,2 В), что позволяет проводить травление пленок хрома в области перепассивации на кривых зависимости потенциал - плотность тока.

Хлорная кислота вводится для поддержания постоянного значения рН раствора в течение длительного времени при различных температурах.

Сернокислый кобальт (III), имеющий высокий потенциал(1,8В), обеспечивает окисление с последующим растворением всех труднорастворимых примесей, входящих в состав пиролитического хрома (оксиды, карбиты), вследствие чего увеличивается скорость травления. При концентрации сернокислого кобальта (III) 1,5-2,0% наблюдается наибольшая скорость травления. Например, пленка пиролитического хрома толщиной 1,5 мкм при 30 0С травится со скоростью 1,2*10 -1мкм/мин.

Преимущества перед известными аналогами

Более высокая скорость (в 2 раза) травления пиролитического хрома в сравнении с аналогами. Возможность применения типового оборудования

Стадия освоения

Опробовано в условиях опытной эксплуатации

Результаты испытаний

Соответствует технической характеристике изделия (устройства)

Технико-экономический эффект

Повышение производительности резисторов в 2 раза

Возможность передачи за рубеж

Возможна передача за рубеж

Дата поступления материала

25.03.2003

Инновации и люди

У павильонов Уральской выставки «ИННОВАЦИИ 2010» (г. Екатеринбург, 2010 г.)

Мероприятия на выставке "Инновации и инвестиции - 2008" (Югра, 2008 г.)

Открытие выставки "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)

Демонстрация разработок на выставке "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)