ПОДРОБНАЯ ИНФОРМАЦИЯ
Заявку на получение дополнительной информации по этому проекту можно заполнить здесь.
|
Номер 68-035-03 |
|||
|
Наименование проекта Способ обработки поверхности структур кремниевых полупроводниковых приборов |
|||
|
Назначение Улучшение качества обработки поверхности полупроводниковых приборов. |
|||
|
Рекомендуемая область применения Микроэлектроника. |
|||
|
Описание Описание к ИЛ № 68-035-03 Результат выполнения научно-исследовательской работы. Обработке подвергали структуры серийных высоковольтных 6-89 кремниевых диодов типа КД-411М в щелочном травителе (смесь водных растворов 20%-ного едкого кали, 20%-ного трилона Б и 25%-ного аммиака). После приготовления травителя в него помещали партию из 300 предварительно собранных на ножки диодных структур и помещали емкость с травителем и структурами в СВЧ электромагнитное поле частотой 5 Ч 10 9 Гц при удельной мощности СВЧ-поля 0,016 Вт/см 3. Через 2-3 мин травитель нагревался до 95-100 °С и начинал кипеть за счет вихревых токов, возбуждаемых в объеме травильного раствора к арматуре диодов. Одновременно травильный раствор интенсивно перемешивался СВЧ-полем, что выравнивало его состав по объему. В результате происходило равномерное стравливание и очистка поверхности структур, которая становилась без рельефной физически чистой и электрически стабильной. Оптимальное время обработки определяется по зависимости на чертеже (кривая 2).
|
|||
|
Преимущества перед известными аналогами Способ позволяет уменьшить расход травления, повысить производительность операции травления, получить после травления качественную поверхность. |
|||
|
Стадия освоения Внедрено в производство |
|||
|
Результаты испытаний Технология обеспечивает получение стабильных результатов |
|||
|
Технико-экономический эффект Повышает производительность травления в два раза. |
|||
|
Возможность передачи за рубеж Возможна передача за рубеж |
|||
|
Дата поступления материала 27.02.2003 |
Инновации и люди
У павильонов Уральской выставки «ИННОВАЦИИ 2010» (г. Екатеринбург, 2010 г.)
Мероприятия на выставке "Инновации и инвестиции - 2008" (Югра, 2008 г.)
Открытие выставки "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)
Демонстрация разработок на выставке "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)
2007–2024 © Инновации - Бизнесу. Инновации и инвестиции в прорывные технологии