ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

Описание к ИЛ № 68-034-03

Результат выполнения научно-исследовательской работы.

Способ включает направленную кристаллизацию расплава кремния с добавкой в него лигатуры в виде сплава таллия с индием и кремнием при их соотношении 1:1:1.

Проводится техническая обработка получения кремния, легированного таллием. Изготавливают лигатуру, для чего в химически обработанную кварцевую ампулу закладывают навески кремния, индия и таллия при их соотношении 1:1:1.

Ампула эвакуируется до форвакуума и затем отпаивается, После этого, проводят синтез компонентов при 1500 ±10 °С в течение двух часов. Указанные температуры и время достаточны для образования сплава для лигатуры.

Полученный в результате синтеза слиток после охлаждения измельчают в виде мелких дробинок размером 2-3 мм и в таком виде используют при легировании расплава кремния. Для непрерывного легирования расплава кремния весом 500 г достаточно 3-5 г готовой (измельченной) лигатуры. Вес готовой лигатуры необходимо подбирать, чтобы его хватило на все время выращивания кристалла при непрерывной равномерной подпитке расплава лигатурой по 1-2 дробинки.

Концентрация примеси таллия в монокристалле (2-3) Ч 10 ¹⁵ см ^-3.