ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

Результат выполнения конструкторской разработки.

Программа динамического регулирования, основывается на положение о векторном характере анизотропного травления. Программа имеет интуитивно понятный интерфейс. И позволяет моделировать процесс травления. Входными данными для проведения моделирования служат файлы, описывающие травитель, и файлы, описывающие геометрическую фигуру, для которой моделируется процесс травления.

Программа опирается на два типа файлов формата asc ii:

1. Файл травителя

2. Файл фигуры

Файл, описывающий диаграмму анизотропии скорости травления, представляет собой текстовый файл в формате asc ii, в который через "пробел" введены модули скорости травителя по определенным направлениям, при этом единица измерения - мкм /мин.

Шаг дискретизации d определяется как

d = ¶ /2·,

Где n - количество значений модулей скорости травления содержащихся в файле .

В программе нет ограничений на число n и, чем оно выше, тем точнее описан травитель. Однако большой массив затрудняет создание файла травителя, и поэтому в программе реализован алгоритм линейной аппроксимации для восстановления модуля скорости травителя из дискретных значений в любом направлении. Для постановки эксперимента с изотропным травителем вводят одинаковые значения скорости.

Формат файла, содержащие описание контура фигуры травления, выглядит следующим образом:

x1 «пробел» y1 « enter»

· · ·

xn «пробел» yn « enter»

Координаты узловых точек ( x1…xn, y1…yn) задаются в микрометрах, и их количество также не ограничено. Особенностью описания фигуры является то, что точки должны идти строго по порядку - от первой до последней. Это необходимо для определения направления векторов, которые описывают геометрию фигуры.

Программа позволяет создавать файл простейших фигур, таких как квадрат, прямоугольник окружность и эллипс, что может служить хорошим образцом для дальнейшего описания произвольных фигур.

В программу введена возможность разбиения каждого отрезка, описывающего контур фигуры, на ряд независимых, количество которых задается пользователем перед загрузкой фигуры, т.к. фигуры травления, описанные лишь узловыми точками, не дают возможность контроля всех точек поверхности, которые необходимы для точной передачи информации алгоритма расчета модели.

Программа производит единичный расчет, исходя из следующих параметров:

1. Наличие травителя

2. Наличие фигуры

3. Время, заданное на 1 шаг прохода в секундах

4. Ориентация диаграммы анизотропии скорости травления.

Также можно указать количество единичных расчетов, чтобы наблюдать динамику (в виде слайд-шоу) процесса травления. Возможность сохранения полученной фигуры в файле позволит разработчикам в дальнейшем использовать ее как базовую для новых экспериментов.

Дополнительные эффекты, такие как отображение ошибочных точек, показ номеров точек, прорисовка векторного травления в каждой точке помогут ясно увидеть динамику процесса и принцип работы программы. Свободное масштабирование фигуры и процесс травления позволяет детально рассматривать наиболее интересные области границы фигуры. Создание слайдов позволяет сохранить «слепки» окна проведения эксперимента в файлах графического формата jpeg для дальнейшего их использования в отчетах или для печати. Операция восстановления фигуры разрешает проблему повторной перезагрузки файла при неудачном эксперименте.

Рисунок 1. Изменение геометрии окружности, рассчитанной средствами программы моделирования, для травителя плоскости (001), концентрации КОН - 33%, температура 100 ⁰С

Фигуры, полученные средствами разработанной программы, изображены на рисунке 1. Базовая фигура представляет собой окружность, пописанную 200 точками и имеющую диаметр 1мм. Окружность в процессе анизотропного травления вырождается в определенные геометрические фигуры в последовательности:

«Окружность» «Восьмигранник» «Квадрат»