ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

Результат научно-исследовательской работы.

Способ вакуумного конденсационного напыления покрытия на металлические и металлосодержащие поверхности подложки включает нагрев распыляемого материала в одном тигле выше температуры плавления материала резистивным источником и лазерным воздействием светового пучка, сканирующего по поверхности тигля с компонентами распыляемого материала, термическое испарение на металлическую подложку с одновременным смешиванием потока пара из неорганических материалов с образованием синтезированных соединений. Для осуществления лазерного воздействия дополнительно используют многоэлементную фокусирующую матрицу, вдоль элементов которой осуществляют возвратно-поступательное сканирование световым пучком попеременно на тигли и по поверхности подложки с величиной удельного объемного энерговклада лазерного излучения, равнойw2= (0,15…0,20)w1,где

удельный объемный энерговклад лазерного излучения на испарение компонентов материала покрытия, С1- удельная теплоемкость,m1- удельная масса, Т1 -температура испарения компонента, Тн1- температура нагрева компонента резистивным источником,n- число компонентов в наносимом покрытии.

Величина энерговклада лазерного излучения при подогреве тигля определяется шириной конкретного матричного фокусирующего элемента, а подогрев всей площади подложки - шириной остальных фокусирующих элементов и ориентацией их оптических осей. Нагреваемые поверхности располагаются на расстоянии фокусного расстояния каждого элемента.