ПОДРОБНАЯ ИНФОРМАЦИЯ
Заявку на получение дополнительной информации по этому проекту можно заполнить здесь.
|
Номер 19-036-03 |
|
Наименование проекта Получение контактного слоя Ti - Ge (титан - германий) |
|
Назначение Формирование коллекторной области кремниевых транзисторов |
|
Рекомендуемая область применения Процесс применяется при изготовлении полупроводниковых приборов |
|
Описание Результат выполнения технологической разработки. В современных способах посадки кристаллов полупроводниковых приборов используют основания корпусов с уже напыленным слоем золота. Слой эвтектики, полученный в результате плавления кремния и золота, дает прочное соединение. Температура посадки кристалла достаточно высокая (370 0С). Обнаружено, что для некоторых типов кремниевых транзисторов в процессе посадки кристалла на основание корпуса высокие температуры влияют на выходные электрические характеристики, понижая процент выхода годных изделий. В связи с возникшей проблемой выбраны материалы и отработана технология металлизации коллекторной области кремниевых транзисторных структур на пластине слоем титан - германий. Путем экспериментальных работ выбраны оптимальные толщины и режимы напыления слоя на установке "Оратория-9". Выбранный слой обеспечивает прочное соединение кристалла к основанию корпуса на основе эвтектического сплава золото-германий и уменьшение влияния высоких температур на электрические параметры транзисторных структур. Данная технология обеспечивает стабильность выходных характеристик и увеличение общего процента выхода годных изделий на 5-7%. |
|
Преимущества перед известными аналогами Получение более надежного контакта к коллекторной области полупроводникового транзистора, экономичность за счет повышения процента выхода годных изделий. |
|
Стадия освоения Внедрено в производство |
|
Результаты испытаний Технология обеспечивает получение стабильных результатов |
|
Технико-экономический эффект Увеличение общего процента выхода годных изделий на 5-7 % |
|
Возможность передачи за рубеж Возможна передача за рубеж |
|
Дата поступления материала 16.04.2003 |
Инновации и люди
У павильонов Уральской выставки «ИННОВАЦИИ 2010» (г. Екатеринбург, 2010 г.)
Мероприятия на выставке "Инновации и инвестиции - 2008" (Югра, 2008 г.)
Открытие выставки "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)
Демонстрация разработок на выставке "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)
2007–2024 © Инновации - Бизнесу. Инновации и инвестиции в прорывные технологии