ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

Номер

72-034-02

Наименование проекта

Устройство очистки плазмы вакуумно-дуговых генераторов от микрокапельной фракции "Плазменный фильтр"

Назначение

Для очистки плазмы вакуумно-дуговых генераторов, работающих в непрерывном или импульсном режимах, от микро-капельной фракции.

Рекомендуемая область применения

Применяется в установках для ионно-плазменного осаждения покрытий типа ННВ 6.6-И1 и др

Описание

Результат выполнения конструкторской разработки.

Плазменный фильтр отличается простотой конструкции, универсальностью (может быть использован в технологических и экспериментальных установках с любыми конструкциями вакуумно-дуговых испарителей), высокой эффективностью пропускания, качеством очистки плазмы и позволяет формировать как сфокусированные, так и расходящиеся плазменные потоки. Плазменный фильтр может быть использован также в ионных источниках с генерацией плазмы вакуумной дугой или в установках для плазменно-иммерсионной ионной имплантации.

Фильтр позволяет производить очистку плазмы любых проводящих материалов, в том числе и легкоплавких. Формируемые с использованием плазменного фильтра покрытия обладают более однородной структурой, характеризуются повышением микротвердости, адгезии и значительным снижением шероховатости поверхности.

Преимущества перед известными аналогами

Покрытия обладают более однородной структурой, характеризуются повышением микротвердости, адгезии и значительным снижением шероховатости поверхности.

Стадия освоения

Внедрено в производство

Результаты испытаний

Соответствует технической характеристике изделия (устройства)

Технико-экономический эффект

Снижение средней плотности макровключений - 2-3 порядка, повышение микротвердости в 2 раза.

Возможность передачи за рубеж

Возможна передача за рубеж

Дата поступления материала

03.10.2002