ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

Результат выполнения конструкторской разработки.

Установка представляет собой герметичную камеру из нержавеющей стали, внутри которой с помощью вакуумной системы и системы напуска газа создается разреженная газовая среда определенного состава при давлении 10 ^-2 - 10 ^-1 Па. В камеру помещены магнетронные распылительные системы, представляющие собой диод с аномальным тлеющим разрядом в скрещенных электрическом и магнитном полях. Плазма благодаря магнитному полю генерируется преимущественно вблизи катода и распыляет его. Образующиеся частицы осаждаются на обрабатываемой поверхности, создавая модифицирующее покрытие. Плазма может быть химически активной, и тогда в ней можно получать оксиды, нитриды и другие соединения металлов с газами. Это позволяет существенно расширить состав наносимых покрытий.

Отличительные особенности ее конструкции позволяют обеспечить следующие режимы обработки: ионная имплантация газовых ионов, осаждение покрытий с ионным ассистированием, ионное перемешивание осажденных покрытий ядрами отдачи.

Иными словами, наличие магнетронов двух типов обеспечивает за один цикл обработки изделия последовательное нанесение трех разных покрытий (немагнитные металлы и сплавы). Использование ионного источника позволяет совместить процесс нанесения пленки с ионной имплантацией. Таким образом, существенно повышается адгезия пленки с подложкой и, следовательно, улучшается качество покрытия обрабатываемого изделия. Рабочая камера снабжена вращающимся поворотным столом. Вышеперечисленные свойства делают установку "Яшма" универсальным инструментом для нанесения модифицирующих покрытий как в лабораторных условиях, так и в промышленном производстве.