Заявку на получение дополнительной информации по этому проекту можно заполнить здесь.
Номер 68-195-02 |
Наименование проекта Устройство для вытягивания кристаллов из расплава |
Назначение Исключение попадания загрязнений в расплав. |
Рекомендуемая область применения Электронная и полупроводниковая промышленность. |
Описание Результат выполнения научно-исследовательской работы. Целью изобретения является исключение попадания загрязнений в расплав и повышение за счет этого качества кристаллов. Устройство содержит камеру 1 роста шток 2 с затравкодержателем 3. Шток 2 коаксиально установлен на валу 4 механизма вращения с помощью шпоночного соединения 5. Механизм перемещения выполнен в виде винта 6 и гайки с кронштейном 7. Кронштейн 7 связан со штоком 2 с помощью подшипника 8 качения, под которым установлен сборник 9. Шток 2 и механизм перемещения снабжены кожухами 10 и 11 соответственно, закрепленными на камере 1 с помощью, магнитов 12 и 13. Устройство работает следующим образом. После загрузки исходного материала в камеру роста, ее герметизации и расплавления исходного материала включают приводы вращения и перемещения штока 2. Крутящий момент от вала 4 с помощью шпоночного соединения 5 передается штоку 2, который также начинает вращаться. При вращении винта 6 механизма перемещения гайка с кронштейном 7 перемещается вверх или вниз в зависимости от направления вращения винта 6 и перемещает вверх или вниз соответственно шток 2. Регулируя скорость и направление перемещения гайки с кронштейном 7, производят затравнивание и вытягивание кристалла. Кожухи 10 и 11 предотвращают осаждение на шток 2 и механизм перемещения продуктов испарения расплава, а сборник 9 предназначен для улавливания продуктов износа подшипника 8 и предотвращения попадания их в расплав. |
Преимущества перед известными аналогами Повышает качество кристаллов, обеспечивает проведение многократных вытягиваний из расплава в различных целях без вкрытия рабочей камеры после каждого вытягивания. |
Стадия освоения Внедрено в производство |
Результаты испытаний Соответствует технической характеристике изделия (устройства) |
Технико-экономический эффект Повышение качества кристаллов в 5 раз. |
Возможность передачи за рубеж Возможна передача за рубеж |
Дата поступления материала 10.12.2002 |
У павильонов Уральской выставки «ИННОВАЦИИ 2010» (г. Екатеринбург, 2010 г.)
Мероприятия на выставке "Инновации и инвестиции - 2008" (Югра, 2008 г.)
Открытие выставки "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)
Демонстрация разработок на выставке "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)