ПОДРОБНАЯ ИНФОРМАЦИЯ
Заявку на получение дополнительной информации по этому проекту можно заполнить здесь.
|
Номер 39-236-02 |
|
Наименование проекта Крупногабаритный магнетронный распылитель |
|
Назначение Нанесение алюминиевого покрытия на стекло шириной 1600 мм в установке непрерывного действия. |
|
Рекомендуемая область применения Процесс получения покрытия из сплавов (вакуумные покрытия). |
|
Описание Является результатом выполнения конструкторской разработки. Распылитель состоит из катодного узла, в основании которого смонтированы магнитная система и водоохлаждаемая мишень из алюминиевого листа. Трубы водяного охлаждения мишени проходят через вакуумные уплотнения во фланце камеры, являются токоотводами и служат для крепления распылителя на фланце камеры. Анод распылителя закреплен на катодном узле на изоляторах с зазором. Принцип работы распылителя позволяет организовать поток частиц покрытия в любом направлении, что значительно расширяет технологические возможности оборудования. Эксплуатация магнетронных распылителей не связана с потреблением тугоплавких материалов (вольфрама, молибдена, тантала и пр.). По сравнению с термическими способами испарения магнетронное распыление обеспечивает значительно лучшую адгезию и позволяет получать покрытия из сплавов с практически полным воспроизводством их химического состава в конденсате. |
|
Преимущества перед известными аналогами Основное премущество магнетронных распылителей перед обычными катотдными распылителями - увеличение более чем на порядок скорости осаждения металлов и уменьшение термической нагрузки на подложку. |
|
Стадия освоения Внедрено в производство |
|
Результаты испытаний Соответствует технической характеристике изделия (устройства) |
|
Технико-экономический эффект Обеспечен длительный ресурс работы распылителя. Годовой экономический эффект от внедрения составил 150 тыс. руб. |
|
Возможность передачи за рубеж Возможна передача за рубеж |
|
Дата поступления материала 30.10.2002 |
Инновации и люди
У павильонов Уральской выставки «ИННОВАЦИИ 2010» (г. Екатеринбург, 2010 г.)
Мероприятия на выставке "Инновации и инвестиции - 2008" (Югра, 2008 г.)
Открытие выставки "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)
Демонстрация разработок на выставке "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)
2007–2024 © Инновации - Бизнесу. Инновации и инвестиции в прорывные технологии