ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

ПОДРОБНАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Заявку на получение дополнительной информации по этому проекту можно заполнить здесь.

Номер

14-064-02

Наименование проекта

Способ изготовления тонкопленочного датчика для анализа аммиака в газовой среде

Назначение

Для изготовления недорогих и простых в изготовлении датчиков для определения концентрации аммиака в газовой среде

Рекомендуемая область применения

Полупроводниковая сенсорная техника

Описание

Результат выполнения научно-исследовательской работы

Способ изготовления тонкопленочногодатчика для определения концентрацииаммиака в газовой среде включает нанесениегазочувствительного слоя химическиочищенного фталоцианина меди на подложку с электродами, технохимическую активациюэтого слоя и прогрев газочувствительногослоя. На подложку с электродами наносятслой фталоцианина меди при температуре подложки 195°С-205°С толщиной не более 20нм, которая подвергается легированиюкислородом в низком вакууме.

Преимущества перед известными аналогами

Повышение чувствительности тонкопленочного датчика для анализа аммиака в газовой среде и сокращение расхода материала, используемого для изготовления датчика

Стадия освоения

Опробовано в условиях опытной эксплуатации

Результаты испытаний

Технология обеспечивает получение стабильных результатов

Технико-экономический эффект

Повышение уровня рентабельности на 20 %.

Возможность передачи за рубеж

Возможна передача за рубеж

Дата поступления материала

12.02.2002

Инновации и люди

У павильонов Уральской выставки «ИННОВАЦИИ 2010» (г. Екатеринбург, 2010 г.)

Мероприятия на выставке "Инновации и инвестиции - 2008" (Югра, 2008 г.)

Открытие выставки "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)

Демонстрация разработок на выставке "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)