Заявку на получение дополнительной информации по этому проекту можно заполнить здесь.
Номер 72-006-02 |
Наименование проекта Эксилампы емкостного разряда |
Назначение Получение эффективного узкополосного ультрафиолетового (УФ) излучения, спектр которого отличен от спектров известных ртутных, ксеноновых и криптоновых ламп. |
Рекомендуемая область применения При осаждении тонких металлических и диэлектрических пленок на подложки, фототравлении полимерных пленок (микроэлектроника), в УФ-фотохимии, для низкотемпературного окисления токсичных органических материалов и для инактивации микроорганизмов. |
Описание
Результат выполнения НИИ и ОКР. Эксилампы являются подклассом разрядных ламп, излучающих за счет распада эксимерных или эксиплексных молекул. С момента создания эксиламп была отмечена высокая эффективность передачи введенной в газовую среду энергии в ультрафиолетовое излучение (до 25%), причем более 80% от общей мощности излучения эксилампы может быть сосредоточено в относительно узкой (несколько нм на полувысоте) спектральной полосе соответствующей молекулы. Нами были впервые предложены и испытаны эксилампы емкостного разряда, имеющие простую конструкцию излучателя (рис.1) и пригодные для обеспечения высокого срока службы. На рис.1 приведен внешний вид эксиламп емкостного разряда. Колба лампы выполнена из кварцевой трубки с пропусканием на рабочей длине волны. Электроды размещаются на внешней поверхности трубок, их длина может варьироваться. На электроды подается напряжение от источника питания, позволяющего получать высоковольтные импульсы с частотами несколько кГц и выше (рис. 2).
Исследования спектральных и амплитудно-временных характеристик излучения показали, что эксилампы емкостного разряда:
-обеспечивают сроки службы рабочих смесей не менее 1000 часов в режиме без принудительного воздушного охлаждения устройства или при плотности мощности излучения десятки мВт/см 2; -обеспечивают сроки службы рабочих смесей более 2000 часов в режиме с охлаждением и/или в условиях плотности мощности излучения единицы мВт/см 2; -время установления стабильного режима выхода излучения охлаждаемой эксилампы составляет около одной минуты; - за сутки изменение величины средней мощности излучения эксилампы с охлаждением составляет не более 5 % и около 10 %-без охлаждения, однако после технологической паузы в работе ламп начальные значения мощности восстанавливаются; -разброс значений импульсной плотности мощности излучения не превышает 10 %. Срок службы источника питания превышает десятки тысяч часов. |
Преимущества перед известными аналогами Колба эксиламп не содержит ртути; обеспечена надежность поджига разряда; имеется возможность варьирования формы колбы излучателя в широких пределах (цилиндрическая, шаровая, коаксиальная, спиральная и т.д.); эксилампа проста в обслуживании. |
Стадия освоения Внедрено в производство |
Результаты испытаний Соответствует технической характеристике изделия (устройства) |
Технико-экономический эффект Ускорение технологического процесса (например, в методе УФ+ИВА удается разложить известные пищевые продукты на 30-40% быстрее чем ртутными лампами). |
Возможность передачи за рубеж Возможна передача за рубеж |
Дата поступления материала 19.06.2002 |
У павильонов Уральской выставки «ИННОВАЦИИ 2010» (г. Екатеринбург, 2010 г.)
Мероприятия на выставке "Инновации и инвестиции - 2008" (Югра, 2008 г.)
Открытие выставки "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)
Демонстрация разработок на выставке "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)