ПОДРОБНАЯ ИНФОРМАЦИЯ
Заявку на получение дополнительной информации по этому проекту можно заполнить здесь.
|
Номер 19-012-02 |
|
Наименование проекта Механическая обработка полупроводниковых пластин на импортной установке DISCO (Япония) |
|
Назначение Обработка обратной стороны кремниевых пластин при производстве полупроводниковых приборов |
|
Рекомендуемая область применения Процесс применяется при изготовления полупроводниковых приборов |
|
Описание Результат выполнения технологической разработки. В ОАО "Эльдаг" освоен процесс утонения полупроводниковых пластин диаметром 100 мм на импортной установкеdisco. Процесс проводится в 3 этапа (3 фрезы) в едином технологическом цикле. Толщина утонения регулируется на каждом этапе. Разброс по толщине составляет ± 1 мкм. Прогиб пластин составляет менее 40 мкм. |
|
Преимущества перед известными аналогами Увеличение производительности по сравнению с аналогами в 2 раза |
|
Стадия освоения Внедрено в производство |
|
Результаты испытаний Технология обеспечивает получение стабильных результатов |
|
Технико-экономический эффект Процент выхода годных пластин увеличился на 10% и составил 96%. |
|
Возможность передачи за рубеж Возможна передача за рубеж |
|
Дата поступления материала 19.03.2002 |
Инновации и люди
У павильонов Уральской выставки «ИННОВАЦИИ 2010» (г. Екатеринбург, 2010 г.)
Мероприятия на выставке "Инновации и инвестиции - 2008" (Югра, 2008 г.)
Открытие выставки "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)
Демонстрация разработок на выставке "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)
2007–2024 © Инновации - Бизнесу. Инновации и инвестиции в прорывные технологии