ПОДРОБНАЯ ИНФОРМАЦИЯ
Заявку на получение дополнительной информации по этому проекту можно заполнить здесь.
|
Номер 72-032-01 |
|
Наименование проекта Базовые тонкопленочные полупроводниковые материалы для газовых датчиков резистивного типа |
|
Назначение Разработка газовых резистивных датчиков для определения взрывоопасных (опасных для жизни) газовых составов, содержания озона. |
|
Рекомендуемая область применения Горнодобывающая промышленность, металлургия, подземные коммуникации, медицина, космическая техника. |
|
Описание Описание к ИЛn72-032-01 Результат выполнения НИР. Базовый тонкопленочный (ТП) полупроводник наносится на диэлектрическое покрытие, отделяющее тонкопленочный чувствительный элемент от ТП нагревательной структуры. Затем на базовый полупроводниковый ТП элемент последовательно наносятся активирующие элементы для индикации соответствующих групп газов. Активирующий элемент может вноситься непосредственно в тонкопленочную полупроводниковую резистивную систему. Используя возможность управления уровнем нестехиометрии в окисных полупроводниковых системах, чувствительный элемент, разделительный высокоомный слой и нагреватель могут быть принципиально выполнены на основе одного исходного материала. В зависимости от конфигурации датчика газа, при формировании структуры могут быть использованы приемы, используемые в микроэлектронике. |
|
Преимущества перед известными аналогами Использование реактивных вакуумных и плазменных способов, позволяющих изменять свойства покрытия в процессе нанесения. Возможность создания простых резистивных газовых датчиков на нейтральных подложках Экологически чистое производство. |
|
Стадия освоения Способ (метод) проверен в лабораторных условиях |
|
Результаты испытаний Соответствует технической характеристике изделия (устройства) |
|
Технико-экономический эффект Улучшение качества изделий в 2 раза. |
|
Возможность передачи за рубеж Возможна передача за рубеж |
|
Дата поступления материала 14.12.2001 |
Инновации и люди
У павильонов Уральской выставки «ИННОВАЦИИ 2010» (г. Екатеринбург, 2010 г.)
Мероприятия на выставке "Инновации и инвестиции - 2008" (Югра, 2008 г.)
Открытие выставки "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)
Демонстрация разработок на выставке "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)
2007–2024 © Инновации - Бизнесу. Инновации и инвестиции в прорывные технологии