ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

Номер

53-239-01

Наименование проекта

Тензопреобразователь давления серии МД

Назначение

Пропорциональное преобразование давления в электрический сигнал

Рекомендуемая область применения

Регулирующие устройства и изметительные преобразователи давления с электрическими унифицированными выходными сигналами.

Описание

Описание к ИЛ № 53-239-01

Результат выполнения конструкторской разработки.

Тензопреобразователи с номинальными диапазонами давления 1,6; 2,5; 4; 6; 10; 25; 40; 60; 100 Мпа (рис) состоят из двухслойной мембраны, корпуса тензопреобразователя, тензорезисторов тензочувствительной полупроводниковой схемы, крышки, коллектора.

Двухслойная мембрана состоит из сапфира и титана жестко соединенных между собой по всей плоскости. На сапфире расположена тензочувствительная полупроводниковая схема, состоящая из четырех кремниевых тензорезисторов, контактных площадок и межсоединений, замкнутых в мост Уитстона.

Принцип действия тенезопреобразователей основан на использовании тензоэффекта в полупроводниках. Тензорезисторы расположены на сапфировой составляющей двухслойной мембраны в зонах с максимальной деформацией. Тензорезисторы соединены с поверхностью сапфира способом гетероэпитаксии. Под действием давления (Р) двухслойная мембрана деформируется, вызывая изменение сопротивления тензорезисторов. Изменение сопротивления тензорезисторов преобразуется в электрический сигнал, пропорциональный преобразуемому давлению (Р).

Преимущества перед известными аналогами

Устойчив к воздействию рабочих температур окружающей среды от - 50 до + 125С.

Стадия освоения

Внедрено в производство

Результаты испытаний

Соответствует технической характеристике изделия (устройства)

Технико-экономический эффект

3,26 тыс. рублей

Возможность передачи за рубеж

Возможна передача за рубеж

Дата поступления материала

12.10.2001