ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

Результат выполнения научно-исследовательской работы.

Техническими результатами предлагаемого способа является повышение технологичности процесса нанесения многокомпонентных халькогенидных пленок путем исключения сложных методов контроля и возможностью управления состава.

Повышение технологичности процесса достигается тем, что на поверхность (кварцевой подложки) наносят магнетронным распылением мишени, представляющей из себя спрессованный и спеченный в инертной среде при Т=400оС порошок сплава cu-in стехиометрического состава, полученного в вакуумированной ампуле, с последующей селенизацией в потоке азота.

Отличие от способа прототипа состоит в том, что: cu-in - материал наносят магнетронным распылением порошкового катода, а не термическим испарением или магнетронным напылением пленок из составного катода.

Примером конкретной реализации способа может служит нанесение пленки cuinse2, заключающейся в том, что на поверхности подложки создается магнетронным распылением порошковой cu-in мишени, пленка cu-in управляемой толщиной 0,3-1,0 мкм по известной технологии. Затем полученную cu-in-пленку помещают в двухзонную электропечь с независимым друг от друга регулированием температур зон.

В первую зону помещают источник se (помещенный в кварцевый тигель) и устанавливают температуру Т1=300 ^оС, а во вторую зону - кварцевую подложку с нанесенной на ней cu-in- пленкой и устанавливают температуру в пределах Т2=150-400 ^оС. Над поверхностью источника se и подложки, заключенных в кварцевую трубку, пропускают азот осушенный и очищенный от кислорода. В результате термической диффузии se в cu-in-пленку образуется слой cuinse ₂ стехиометрического состава при различных Т2.

Преимуществом предполагаемого способа является повышение технологичности, заключающееся в возможности получения халькогенидных трехкомпонентных кристаллических пленок твердых растворов, отсутствием сложных методов контроля, низкой стоимости и общедоступности оборудования.