ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

Изобретение относится к области тонкопленочной технологии и предназначено для использования в микроэлектронике и интегральной оптике.

Техническим результатом предлагаемого изобретения является повышение технологичности процесса нанесения пленок с заданным числом монослоев путем исключе­ния необходимости сверхвысоковакуумного оборудования и сложных методов контроля.

Указанный результат достигается тем, что на поверхность наносят монослой амфифильных молекул (пленка Лэнгмюра- Блоджетт), в состав полярных головок которых входят химические элементы, или соединения, пленку из которых требуется получить, затем термическим, оптическим или химическим воздействием удаляют гидрофобный углеводородный хвост амфи-фильной молекулы. Отличие от способа прототипа состоит в том, что материал наносят в составе амфифильной молекулы, а не в чистом виде, а также в том, что после нанесения материала его подвергают физическому или химическому воздействию.

Примером конкретной реализации способа может служить способ нанесения пленки оксида цинка, заключающийся в том, что на поверхности воды (в ванне Лэнгмюра) создают монослой амфифильных молекул лаурата цинка (С ₁₁Н ₂₃СОО) ₂znв жидкокристаллическом состоянии (пленка Лэнгмюра). Затем по известной технологии на полированную подложку из кварца (кремния, сапфира) переносят монослой амфифильного типа (молекулы обращены к подложке полярными головками).

Для удаления гидрофобных углеводородных хвостов монослой подвергают облучению импульсамиxecl- лазера (l= 308 нм,t=20 нс, Рі20 МВ т/eм ²). При этом на поверхности остается монослой оксида цинка. Путем многократного повторения описанной процедуры выращивают пленку со строго заданным числом монослоев (число монослоев в точности равно числу повторений указанной процедуры).

Преимуществом предлагаемого способа является повышение технологичности, за­ключающееся в возможности создания сверх решеток и двухмерных структур на воздухе без использования дорогостоящего сверхвысоковакуумного оборудования и сложных методов контроля, простоте амортизации, а также и невысокой стоимости и общедоступности необходимого для осуществления способа оборудования.