ПОДРОБНАЯ ИНФОРМАЦИЯ
Заявку на получение дополнительной информации по этому проекту можно заполнить здесь.
|
Номер 12-089-00 |
|
Наименование проекта Кремнийэлементоорганические материалы для микроэлектроники |
|
Назначение Заменяют пожаро-взрывобезопасные, токсичные и дорогостоящие соединения - силан, фосфин, диборан и др. |
|
Рекомендуемая область применения Микроэлектроника |
|
Описание
Описание к ИЛ № 12-089-00 Тонкие диэлектрические слои двуокиси кремния, легированной (атомами бора, фосфора, сурьмы) двуокиси кремния, нитрида и оксинитрида кремния осаждаются на поверхности кремниевых пластин путем разложения в плазме высокочастотного разряда следующих соединений: 1. Гексаметилдисилоксан - получение пленок двуокиси кремния. 2. Гексаметилдисилазан - получение пленок нитрида и оксинитрида кремния. 3.Трис-(триметилсилил)фосфат - получение пленок фосфоро- силикатного стекла. 4.Трис-(триметилсилил)борат - получение пленок боро- силикатного стекла. 5.Трис-(триметилсилил)антимонит - получение пленок сурьмяно-силикатного стекла. Эти реагенты заменяют пожаро-взрывобезопасные, токсичные и дорогостоящие соединения - силан, фосфин, диборан и др. Новые реагенты представляют собой нетоксичные и безопасные в работе жидкости с температурой кипения 100-200 0С. Они имеют неограниченный срок хранения, низкую стоимость. Применение новых реагентов в производстве микроэлектронных изделий позволяет увеличить скорость процессов осаждения пленок, повысить безопасность и улучшить качество изделий. |
|
Преимущества перед известными аналогами Нетоксичные и безопасные в работе, неограниченный срок хранения, низкая стоимость |
|
Стадия освоения Опробовано в условиях опытной эксплуатации |
|
Результаты испытаний Технология обеспечивает получение стабильных результатов |
|
Технико-экономический эффект Увеличение скорости процессов осаждения пленок, повышение безопасности и улучшение качества изделий. |
|
Возможность передачи за рубеж Возможна передача за рубеж |
|
Дата поступления материала 10.07.2000 |
Инновации и люди
У павильонов Уральской выставки «ИННОВАЦИИ 2010» (г. Екатеринбург, 2010 г.)
Мероприятия на выставке "Инновации и инвестиции - 2008" (Югра, 2008 г.)
Открытие выставки "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)
Демонстрация разработок на выставке "Малый бизнес. Инновации. Инвестиции" (г. Магнитогорск, 2007 г.)
2007–2024 © Инновации - Бизнесу. Инновации и инвестиции в прорывные технологии