ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

Вакуумная установка для электронно-лучевого напыления покрытий содержит в рабочей камере 1 электронную пушку 2 с системой отклонения электронного луча 3, а также тигель 4 с испаряемым материалом 5. Около электронной пушки 2 и тигля 4 размещены коллекторы 6-8 электронов, каждый из которых соединен с соответствующим заземлением резистором 9 и первым входом соответствующего компаратора 10 напряжения. Вторые входы компараторов напряжения соединены с источником 11 опорного напряжения.

Выход каждого из компараторов 10 соединен с соответствующим узлом 12 сигнализации и с входами элемента ИЛИ 13, выход которого соединен с первым входом элемента И 14 и входом одновибратора 15, инверсный выход которого соединен с вторым входом элемента И 14. Выход элемента И 14 подключен к дополнительному входу блока 16 аварийного отключения высокого напряжения.

Количество коллекторов электронов и соответствующих компараторов 10 напряжений, узлов 12 сигнализации, а также входов элемента ИЛИ 13 определяется конструкцией вакуумной установки, количеством электронных пушек и тиглей и требуемой степенью защиты вакуумной установки от прожигания электронным лучом.

Вакуумная установка работает следующим образом.

После достижения в рабочей камере 1 необходимого вакуума включается высокое напряжение и другие питающие напряжения электронной пушки 2 с системой отклонения электронного луча 3. Отклоненный электронный луч по траектории, показанной штриховой линией, попадает в тигель 4 и нагревает материал 5, который испаряется.

При недостаточном токе в системе отклонения электронного луча 3 или при излишне сильном токе, а также в случае обрыва в системе отклонения электронный луч выходит из рабочей зоны тигля и по траекториям, показанным штрихпунктирными линиями, попадает на коллекторы 6,7 или 8 соответственно. На соответствующем резисторе 9 появляется падение напряжения, вызванное протекающим в цепи коллектора электронов током. Если это падение напряжения по абсолютной величине превышает опорное напряжение источника 11, соответствующий компаратор 10 выдает сигнал на узел 12 сигнализации и вход элемента ИЛИ 13. Узел сигнализации выдает, например, звуковой и световой сигналы оператору вакуумной установки о выходе электронного луча из рабочей зоны тигля 4 и указывает, в каком направлении вышел луч. Сигнал с выхода элемента ИЛИ 13 проходит на выход элемента и запускает одновибратор 15, с инверсного выхода которого и с выхода элемента ИЛИ 13 сигналы поступают на элемент И 14. Если за время импульса одновибратора 5 оператор не вывел электронный луч в рабочую зону тигля и сигнал с выхода элемента ИЛИ 13 не прекратился, на выходе элемента И 14 и появляется сигнал, приводящий в действие блок 16 аварийного отключения высокого напряжения питания электронной пушки. При этом электронная пушка выключается и предотвращается прожигание элементов конструкции вакуумной установки.