ИННОВАЦИИ БИЗНЕСУ

Разработан прибор для контроля уровня влажности технологических сред, состоящий из датчика влажности и блока анализатора. Датчик позволяет с высокой точностью определить уровень влажности - важный параметр многих технологических процессов, от которого в дальнейшем зависят работоспособность и качество будущего изделия.

Датчик действует по адсорбционно-частотному методу, суть которого заключается в изменении частоты колебаний кварцевой пластины при адсорбировании на ней из окружающей среды паров воды. Датчик состоит из двух частей: кварцевой пластины, изолированной от влажности окружающей среды, и кварцевой пластины, находящейся под воздействием паров воды из окружающей среды. Обе пластины являются задающими элементами генераторов: опорного и рабочего (см. рисунок). В блоке анализатора происходит подсчет частоты генераторов и анализ разности опорной и рабочей частоты, результатом которого является определенный уровень влажности для анализируемой среды.

Высокая точность датчика обусловлена сильной зависимостью собственной частоты колебаний кварцевой пластины от ее толщины, которая растет при адсорбировании на ней паров воды.

Для повышения чувствительности датчика к влажности кварцевая пластина может быть покрыта тонким слоем гигроскопичного материала (например, окись ge). Кварцевая пластина, напыляемые на нее контактные площадки или гигроскопичный материал сделаны очень тонкими для повышения добротности датчика и его чувствительности.

Качество технологического процесса и работоспособность интегральных микросхем и микросборок в значительной степени зависят от уровня влажности внутри корпуса (влага попадает в результате плохой герметизации или выделяется из составляющих микросхему материалов). Датчик обеспечивает организовать контроль уровня влажности внутри корпуса микросхемы. Это дает возможность с высокой вероятностью определить остаточное время работы микросхемы, вовремя предупредить ее отказ или выявить брак.

Датчик в различных своих модификациях может встраиваться в корпуса интегральных микросхем или различного оборудования. Он позволяет легко и быстро анализировать результаты, обеспечивает возможность автоматического контроля или анализа влажности в сопряжении с различными устройствами управления технологическими процессами или ЭВМ.

Структурная схема прибора