Инновации бизнесу. Автоматический сканирующий эллипсометр ЛЭФ-81 "Микроскан"

ПОДРОБНАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Заявку на получение дополнительной информации по этому проекту можно заполнить здесь.

Номер

20-280-99

Наименование проекта

Автоматический сканирующий эллипсометр ЛЭФ-81 "Микроскан"

Назначение

Прецизионного и высокопроизводительного неразрушающего контроля и измерения толщины оптических постоянных тонких и сверхтонких пленок, слоев и чистых поверхностей различных материалов, в том числе поглощающих, анизотропных и жидких.

Рекомендуемая область применения

Микроэлектроника, оптика, электрохимия, биология и медицина

Описание

Эллипсометр ЛЭФ-801 разработан на основе прецизионных поляризационно-оптических элементов, конструкций точной механики, микропроцессорных устройств и современной вычислительной техники. В приборе используется высокостабильныйhene6328 А лазер и кремниевый фотоприемник

Возможности прибора: измерение толщины пленок в диапазоне 10-10000 А с погрешностью плюс минус 3 А; измерение показателей преломления и поглощения с погрешностью плюс минус 0,005; получение графического изображения распределения толщин и показателей преломления по площади измеряемой поверхности: в виде топограммы в условных цветах и трехмерной графики.

Прибор обеспечивает измерение параметров локальных объектов: картирование измеряемых поверхностей с высоким разрешением и выводом результатов на монитор и графопостроитель. Использование микропроцессорных устройств и внутрисистемной приборной магистрали позволяет применять компьютер любой модели.

Преимущества перед известными аналогами

Высокая чувствительность прибора за счет использования оригинальной балансовой измерительной схемы

Стадия освоения

Внедрено в производство

Результаты испытаний

Соответствует технической характеристике изделия (устройства)

Технико-экономический эффект

Улучшение качества изделий

Возможность передачи за рубеж

Возможна передача за рубеж

Дата поступления материала

04.11.1999